Näytetään tulokset 1 - 10 / 2806
tulosta / sivu
Mitä julkaisutietoja palvelu sisältää?
Julkaisun nimi
Tekijät
Julkaisukanava
Vuosi

Diffusion of some MVOCs through building moisture barriers

Vertaisarvioitu
Komulainen, J.; Lu-Tervola, Xiaoshu; Hakkarainen, H.; Weckström, A.; Viljanen, M.; Liukkonen, S.
-2003

Diffusion barriers in semiconductor contact metallization: Dissertation

Kattelus, Hannu
Technical Research Centre of Finland. Publications1988

Reliability of Tantalum Based Diffusion Barriers between Copper and Silicon

Vertaisarvioitu
Zeng, K.; Kivilahti, J.K.; Molarius, J.; Suni, I.
MATERIALS RESEARCH SOCIETY2000

Reactively sputtered Ta2N and TaN diffusion barriers for copper metallization

Vertaisarvioitu
Molarius, Jyrki; Laurila, Tomi; Riekkinen, Tommi; Zeng, Kejun; Niskanen, Antti; Leskelä, Markku; Sun...
Advanced Metallization Conference2000

Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallisation

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(01)00582-2
Laurila, T.; Zeng, K.; Kivilahti, J. K.; Molarius, J.; Riekkinen, T.; Suni, I.
Microelectronic Engineering2002

Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallization

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(01)00582-2
Laurila, Tomi; Zeng, Kejun; Kivilahti, Jorma; Molarius, Jyrki; Riekkinen, Tommi; Suni, Ilkka
Microelectronic Engineering2002

Tantalum-based diffusion barriers for copper metallization

Laurila, T.; Zeng, K.; Kivilahti, J.
Teknillinen korkeakoulu1999

Sputtered W-N diffusion barriers

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1116/1.572901
Kattelus, Hannu; Kolawa, Elzbieta; Affolter, Klaus; Nicolet, Marc
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films1985

Monte-Carlo simulation of diffusion in two barriers system

Vertaisarvioitu
Masin, M.; Chvoj, Z.; Jelinek, P.; Heinonen, J.
Surface Science2002

Data sets of migration barriers for atomistic Kinetic Monte Carlo simulations of Fe self-diffusion

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.dib.2018.04.060
Baibuz, Ekaterina; Vigonski, Simon; Lahtinen, Jyri; Zhao, Junlei; Jansson, Ville; Zadin, Vahur; Djur...
Data in Brief2018

Diffusion of some MVOCs through building moisture barriers

Vertaisarvioitu
2003

Diffusion barriers in semiconductor contact metallization: Dissertation

1988

Reliability of Tantalum Based Diffusion Barriers between Copper and Silicon

Vertaisarvioitu
2000

Reactively sputtered Ta2N and TaN diffusion barriers for copper metallization

Vertaisarvioitu
2000

Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallisation

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(01)00582-2
2002

Tantalum carbide and nitride diffusion barriers for Cu metallization

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(01)00582-2
2002

Tantalum-based diffusion barriers for copper metallization

1999

Sputtered W-N diffusion barriers

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1116/1.572901
1985

Monte-Carlo simulation of diffusion in two barriers system

Vertaisarvioitu
2002

Data sets of migration barriers for atomistic Kinetic Monte Carlo simulations of Fe self-diffusion

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.dib.2018.04.060
2018