Sputtered W-N diffusion barriers
Julkaisuvuosi
1985
Tekijät
Kattelus, Hannu; Kolawa, Elzbieta; Affolter, Klaus; Nicolet, Marc
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Kattelus Hannu
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
3
Numero
6
Sivut
2246-2254
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1116/1.572901
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei