Näytetään tulokset 1 - 10 / 3778
tulosta / sivu
Mitä julkaisutietoja palvelu sisältää?
Julkaisun nimi
Tekijät
Julkaisukanava
Vuosi

A batch process to deposit amorphous metallic Mo-Si-N films

Vertaisarvioitu
DOI
10.1023/A:1023925423733
Kattelus, Hannu; Heikkinen, Hannele; Häärä, Ari; Ylönen, Mari; Tolkki,
Journal of Materials Science: Materials in Electronics2003

A batch process for depositing amorphous metallic Mo-Si-N films

Vertaisarvioitu
Kattelus, Hannu; Heikkinen, Hannele; Häärä, Ari; Ylönen, Mari; Tolkki, Antti
4th International Conference on Materials for Microelectronics and Nanoengineering, MFMN 20022002

Effects of ultra-high vacuum treatments on n-type Si contact resistivity

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162790
Miettinen, Mikko; Vuorinen, Esa; Lehtio, Juha-Pekka; Rad, Zahra Jahanshah; Punkkinen, Risto; Kuzmin,...
Applied surface science2025

Potential of amorphous Mo-Si-N films for nanoelectronic applications

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(03)00425-8
Ylönen, Mari; Kattelus, Hannu; Savin, A.; Kivinen, P.; Haatainen, Tomi; Ahopelto, Jouni
Microelectronic Engineering2003

Fabrication of a p-i-n Diode with a Nanostructured c-Si/SiO2 i-layer

Novikov, S.; Sinkkonen, J.; Kilpelä, O.
-1997

Characterisation of n-type gamma-CuCl on Si for UV optoelectronic applications

Vertaisarvioitu
"O'Reilly", Lisa; Mitra, A.; Lucas, F.O.; Natarajan, G.; McNally, Patric J.; Daniels, S.; Lankinen, ...
Journal of Materials Science: Materials in Electronics2007

Processing of n(+)/p(-)/p(+) strip detectors with atomic layer deposition (ALD) grown Al2O3 field insulator on magnetic Czochralski silicon (MCz-si) substrates

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/j.nima.2016.04.069
Härkönen, J.; Tuovinen, Esa; Luukka, P.; Gädda, A.; Mäenpää, T.; Tuominen, E.; Arsenovich, T.; Junke...
Nuclear instruments and methods in physics research section A: accelerators, spectrometers, detector...2016

Amorphous Mo-N and Mo-Si-N films in microelectromechanical systems

Vertaisarvioitu
DOI
10.1111/j.1460-2695.2005.00887.x
Kattelus, Hannu; Ylönen, Mari; Blomberg, Martti
Fatigue & Fracture of Engineering Materials & Structures2005

Impact of Si on the high-temperature oxidation of AlCr(Si)N coatings

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.jmst.2021.04.065
Jäger, Nikolaus; Meindlhumer, Michael; Zitek, Michal; Spor, Stefan; Hruby, Hynek; Nahif, Farwah; Jul...
Journal of Materials Science and Technology2022

Corrosion properties of amorphous Mo-Si-N and nanolayered Mo-Si-Nn/SiC coatings

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S1359-6462(99)00407-8
Torri, P.; Mahiout, A.; Koskinen, J.; Hirvonen, J. P.; Johansson, L. S.
Scripta Materialia2000

A batch process to deposit amorphous metallic Mo-Si-N films

Vertaisarvioitu
DOI
10.1023/A:1023925423733
2003

A batch process for depositing amorphous metallic Mo-Si-N films

Vertaisarvioitu
2002

Effects of ultra-high vacuum treatments on n-type Si contact resistivity

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162790
2025

Potential of amorphous Mo-Si-N films for nanoelectronic applications

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S0167-9317(03)00425-8
2003

Fabrication of a p-i-n Diode with a Nanostructured c-Si/SiO2 i-layer

1997

Characterisation of n-type gamma-CuCl on Si for UV optoelectronic applications

Vertaisarvioitu
2007

Processing of n(+)/p(-)/p(+) strip detectors with atomic layer deposition (ALD) grown Al2O3 field insulator on magnetic Czochralski silicon (MCz-si) substrates

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/j.nima.2016.04.069
2016

Amorphous Mo-N and Mo-Si-N films in microelectromechanical systems

Vertaisarvioitu
DOI
10.1111/j.1460-2695.2005.00887.x
2005

Impact of Si on the high-temperature oxidation of AlCr(Si)N coatings

Vertaisarvioitu
Avoin saatavuus
DOI
10.1016/j.jmst.2021.04.065
2022

Corrosion properties of amorphous Mo-Si-N and nanolayered Mo-Si-Nn/SiC coatings

Vertaisarvioitu
DOI
10.1016/S1359-6462(99)00407-8
2000