undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Potential of amorphous Mo-Si-N films for nanoelectronic applications

Julkaisuvuosi

2003

Tekijät

Ylönen, Mari; Kattelus, Hannu; Savin, A.; Kivinen, P.; Haatainen, Tomi; Ahopelto, Jouni

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Ahopelto Jouni

Haatainen Tomi

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Microelectronic Engineering

Volyymi

70

Numero

2-4

Sivut

337-340

ISSN

0167-9317

Julkaisu­foorumi

63335

Julkaisufoorumitaso

1

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1016/S0167-9317(03)00425-8

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei