A batch process to deposit amorphous metallic Mo-Si-N films
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Kattelus, Hannu; Heikkinen, Hannele; Häärä, Ari; Ylönen, Mari; Tolkki,
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Häärä Ari
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
14
Numero
5-7
Sivut
427-430
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1023/A:1023925423733
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei