undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Amorphous Mo-N and Mo-Si-N films in microelectromechanical systems

Julkaisuvuosi

2005

Tekijät

Kattelus, Hannu; Ylönen, Mari; Blomberg, Martti

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Kattelus Hannu

Ylönen Mari

Blomberg Martti

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Fatigue & Fracture of Engineering Materials & Structures

Volyymi

28

Numero

8

Sivut

743-749

ISSN

8756-758X

Julkaisu­foorumi

56039

Julkaisufoorumitaso

1

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1111/j.1460-2695.2005.00887.x

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei