Heliumionimikroskooppi poikkitieteelliseen materiaalitutkimukseen
Lyhenne
HIM
Infrastruktuurin kuvaus
Zeiss Orion Nanofab heliumionimikroskooppi (HIM) on pyyhkäisyelektronimikroskoopin (SEM) kaltainen kuvantamislaite jossa elektronien sijasta tutkittavan näytteen pintaa pyyhkäistään positiivisilla He-ioneilla. Sillä voidaan kuvata kohteita millimetrimittakaavasta aina yksittäisiin nanometreihin asti. Merkittävimmät edut SEMiin verrattuna ovat parempi erotuskyky (jopa 0,5 nm) laaja syvyysterävyysalue sekä mahdollisuus kuvata eristäviä näytteitä ilman johtavaa pinnoitusta. Ne-ionien käyttö He-ionien sijaan mahdollistaa myös tutkittavan näytteen muokkauksen nanometrimittakaavassa. Vuoden 2020 alussa laitteeseen liitettiin lentoaikaan perustuva sekundääri-ionien massaspektrometrilaitteisto (TOF-SIMS), jolla voidaan analysoida näytteiden alkuaine- ja isotooppikoostumusta erittäin hyvällä resoluutiolla.
Tieteellinen kuvaus
Toiminta alkanut
2015
Vastuuorganisaatio
Jyväskylän yliopisto
Avainsanat
biology, focused ion beam, He ions, high-resolution, imaging, Materials Research
Tutkimusinfrastruktuurin palvelut
Kuvantaminen heliumionimikroskoopilla
Tutkimusinfrastruktuurin muut tiedot
Tieteenalat
LUONNONTIETEET, TEKNIIKKA, LÄÄKE- JA TERVEYSTIETEET
Luokituksia
Yhteystiedot
Nimi
Kuvaus
Tunnisteet
urn:nbn:fi:research-infras-2016111642