Näytetään tulokset 1 - 10 / 33
tulosta / sivu
Julkaisun nimi
Tekijät
Julkaisukanava
Vuosi
Julkaisujen tiedon ikoni
Kolari, Kai; Haatainen, Tomi; Ylinen, Sami; Aalto, Timo
22nd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop, MME 2011, Tönsberg, Norway, 19 - 22 June 2011
2011
Julkaisujen tiedon ikoni
Haatainen, Tomi
VTT Publications
2011
Julkaisujen tiedon ikoni
Tuominen, Jarkko; Masuda, N.; Petäjä, Jarno; Hiltunen, Jussi; Aikio, Sanna; Karioja, Pentti; Siitone...
12th International Conference on Nanoimprint & Nanoprint Technology, NNT 2013
2013
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Kainlauri, Markku; Willberg-Keyriläinen, Pia; Tammelin, Tekla; Forsström, Ulla
TAPPI International Conference on Nanotechnology for Renewable Materials, NANO 2016
2016
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Haatainen, Tomi
Microelectronic Engineering
2012
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Haatainen, Tomi; Ahopelto, Jouni
Microelectronic Engineering
2011
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Haatainen, Tomi; Majander, Päivi; Ahopelto, Jouni
Microelectronic Engineering
2007
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Kainlauri, Markku; Willberg-Keyriläinen, Pia; Tammelin, Tekla; Forsström, Ulla
Microelectronic Engineering
2016
Julkaisujen tiedon ikoni
Schulz, H.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, T.; Sotomayor-Torres, C.; Pfeiffer, Karl; Bleidiessel, G.; Grut...
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
2000
Julkaisujen tiedon ikoni
Mäkelä, Tapio; Hokkanen, Ari; Sneck, Asko; Ruotsalainen, Teemu; Khakalo, Alexey; Tammelin, Tekla
Microelectronic Engineering
2020