New polymer materials for nanoimprinting
Julkaisuvuosi
2000
Tekijät
Schulz, H.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, T.; Sotomayor-Torres, C.; Pfeiffer, Karl; Bleidiessel, G.; Grutzner, G.; Cardinaud, C.; Gaboriau, F.; Peignon, M.-C.; Ahopelto, Jouni; Heidari, B.
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Ahopelto Jouni
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Volyymi
18
Numero
4
Sivut
1861 - 1865
ISSN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1116/1.1305331
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei