ALD ATO nanolaminates with adjustable electrical properties: poster presentation
Julkaisuvuosi
2009
Tekijät
Puurunen, Riikka, L.; Kattelus, Hannu
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Posteri
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
9th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2009
Konferenssi
9th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2009
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei