Electron radiation sensitive hybrid sol-gel materials for electron-beam lithography and diffractive optics
Julkaisuvuosi
1998
Tekijät
Rantala, Juha; Penner, R. Scott; Honkanen, Seppo; Nordman, Nina; Nordman, Olli; Vähäkangas, Jouko; Fallahi, Mahmoud; Peyghambarian, Nasser
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Vähäkangas Jouko
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Emojulkaisun nimi
Emojulkaisun toimittajat
Hubert-Pfalzgraf, Liliane G.; Najafi, S. Iraj
Konferenssi
Volyymi
3469
Sivut
30-37
ISSN
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1117/12.312923
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei