(oral talk) Gettering in silicon-on-insulator wafers with polysilicon layer
Julkaisuvuosi
2008
Tekijät
Savin, Hele; Yli-Koski, Marko; Haarahiltunen, Antti; Virkkala, Ville; Talvitie, Heli; Asghar, M. I.; Sinkkonen, Juha
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Savin Hele 
Haarahiltunen Antti
Talvitie Heli
Asghar Imran
Yli-Koski Marko
Virkkala Ville
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Abstrakti
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Konferenssi
European Materials Research Society Spring Meeting
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Lääketieteen bioteknologia; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kotimainen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei