(oral talk) Gettering of iron in silicon by boron implantation
Julkaisuvuosi
2007
Tekijät
Haarahiltunen, Antti; Talvitie, Heli; Savin, Hele; Anttila, O.; Yli-Koski, Marko; Asghar, M. I.; Sinkkonen, Juha
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Abstrakti
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Konferenssi
International Conference on Defects Recognition, Imaging and Physics of Semiconductors
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia; Lääketieteen bioteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kotimainen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei