(poster) Simulations of Iron Re-Dissolution from Oxygen Precipitates in Cz-Silicon and its Impact on Gettering Efficiency
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Väinölä, H.; Zhang, Peng; Haarahiltunen, A.; Istratov, A. A.; Weber, E. R.
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Väinölä Hele 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Abstrakti
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Konferenssi
Conference on gettering and defect engineering in semiconductor technology
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kotimainen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei