Liquid immersion method as a tool in process monitoring
Julkaisuvuosi
2013
Tekijät
Räty, Jukka; Niskanen, Ilpo; Peiponen, Kai-Erik
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Kustantaja
Utsunomiya University Center for Optical Research & Education
Numero
10
Sivut
67-68
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Materiaalitekniikka
Julkaisumaa
Japani
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä