Sputter deposition of piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Barth, S.; Gloess D.; Bartzsch H.; Frach P.; Herzog T.; Walter S.; Heuer H.; Suchaneck, G.; Gerlach G.; Juuti, J.; Palosaari, J.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
2014 7th GMM-Workshop - Proceedings of Energy self-sufficient Sensors
Konferenssi
Kustantaja
Sivut
86-90
ISBN
Julkaisufoorumi
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka; Nanoteknologia
Julkaisumaa
Saksa
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei tietoa
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä