Machine Vision System Utilizing Black Silicon CMOS Camera for Through-Silicon Alignment
Julkaisuvuosi
2022
Tekijät
Vlasov, Aleksandr A.; Aydin, Alp E.; Uusitalo, Topi; Viheriala, Jukka; Guina, Mircea
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
12
Numero
12
Sivut
2019-2026
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Kyllä
Julkaisukanavan avoin saatavuus
Osittain avoin julkaisukanava
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Tunnistettu aihe
[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/TCPMT.2022.3225051
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä