Piin anisotrooppinen märkäetsaus
Julkaisuvuosi
1983
Tekijät
Ylilammi, Markku
Abstrakti:
Anisotrooppinen eli kidesuunnasta riippuva piin etsaus on tärkeä menetelmä kolmiulotteisten mikrorakenteiden valmistuksessa. Aluksi tarkastellaan lyhyesti isotrooppista etsausta ja eri etsaustekniikoita. Esitetään piin kiderakenteen vaikutus etsausnopeuteen ja alkali- ja amiiniperustaisten anisotrooppisten etsien toimintamekanismeja ja ominaisuuksia. Tyypilliset etsausgeometriat kuvataan ja verrataan eri etsien allesyöpymisominaisuuksia. Lopuksi luetellaan eräitä kirjallisuudessa esitettyjä anisotrooppisella etsauksella valmistettuja rakenteita.
Näytä enemmänOrganisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Ylilammi Markku
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Erillisteos
Yleisö
Ammatillinen
OKM:n julkaisutyyppiluokitus
D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys
Julkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Tiedotteita
Kustantaja
VTT Technical Research Centre of Finland
Numero
176
ISSN
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Kustantajan version lisenssi
Muu lisenssi
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
suomi
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei