Formation of CoSi on Polycrystalline Silicon by RTA
Julkaisuvuosi
1990
Tekijät
Drozdy, Gyözö; Ronkainen, Hannu; Suni, Ilkka
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Ronkainen Hannu
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
14th Nordic Semiconductor Meeting
Kustantaja
Technical University of Denmark DTU
Sivut
198-201
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei