Investigation of annealing behaviour of implanted nitrogen in InP by SIMS, NRB and RBS
Julkaisuvuosi
1997
Tekijät
Likonen, Jari; Väkeväinen, K.; Ahlgren, T.; Räisänen, Jyrki; Rauhala, Esko; Keinonen, J.
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Likonen Jari
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
10th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS X)
Kustantaja
Wiley
Sivut
903-906
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei tietoa
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei