< Takaisin hakutuloksiin

Modern facility for microelectronics research

Julkaisuvuosi

1997

Tekijät

Heleskivi, Jouni

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli:

Yleisö

Ammatillinen

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

D1 Artikkeli ammattilehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti/Sarja

Industrial Horizons

Numero

December

Artikkelinumero

17

ISSN

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei tietoa

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei