Lift-Off process for nanoimprint lithography
Julkaisuvuosi
2002
Tekijät
Carlberg, P.; Graczyk, M.; Sarwe, E.L.; Maximov, I.; Beck, M.; Montelius, L.; Sotomayor Torres, C.M.; Cardinaud, C.H.; Pfeiffer, K.; Reuther, F.; Fink, M.; Grueztner, G.; Ahopelto, Jouni; Haatainen, Tomi; Mayer, C.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Abstrakti
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
1st International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, NNT'02
Kustantaja
Naval Research Laboratory
Sivut
91-92
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei