Square-extensional mode single-crystal silicon micromechanical RF-resonator
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Kaajakari, Ville; Mattila, Tomi; Oja, Aarne; Kiihamäki, Jyrki; Kattelus, Hannu; Koskenvuori, Mika; Rantakari, Pekka; Tittonen, Ilkka; Seppä, Heikki
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Kiihamäki Jyrki 
Oja Aarne
Kattelus Hannu
Seppä Heikki
Mattila Tomi
Kaajakari Ville
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers '03
Sivut
951-954
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/SENSOR.2003.1216924
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei