Nonlinearities in single-crystal silicon micromechanical resonators
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Kaajakari, Ville; Mattila, Tomi; Kiihamäki, Jyrki; Kattelus, Hannu; Oja, Aarne; Seppä, Heikki
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Oja Aarne
Kattelus Hannu
Seppä Heikki
Kiihamäki Jyrki 
Mattila Tomi
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers '03
Sivut
1574-1577
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/SENSOR.2003.1217080
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei