Monolithic SOI-MEMS capacitive pressure sensor with standard bulk CMOS readout circuit
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Ylimaula, Miikka; Åberg, Markku; Kiihamäki, Jyrki; Ronkainen, Hannu
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Konferenssi
29th European Solid-State Circuits Conference, ESSCIRC 2003
Kustantaja
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Sivut
611-614
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/ESSCIRC.2003.1257209
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei