"Plug-up" - A new concept for fabricating SOI MEMS devices
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Kiihamäki, Jyrki; Pekko, Panu; Kattelus, Hannu; Sillanpää, Teuvo; Mattila, Tomi
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Kattelus Hannu
Kiihamäki Jyrki 
Pekko Panu
Sillanpää Teuvo
Mattila Tomi
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2003
Konferenssi
5th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2003
Kustantaja
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Sivut
229-233
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/DTIP.2003.1287042
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei