undefined

Stability and residue studies on complexing agents in SC-1 bath

Julkaisuvuosi

2003

Tekijät

Saloniemi, Heini; Eränen, Simo; Ketola, Raimo; Kokkonen, Juha; Lehto, Sari; Luomaperä, Kaija; Vastamäki, Pertti; Siren, Heli; Anttila, Olli

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Saloniemi Heini

Vastamäki Pertti

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Ei-vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Emojulkaisun toimittajat

Heyns, Marc; Mertens, Paul

Konferenssi

6th International Symposium on the Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002

Kustantaja

Trans Tech Publications

Sivut

41

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka; Materiaalitekniikka

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei