Stability and residue studies on complexing agents in SC-1 bath
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Saloniemi, Heini; Eränen, Simo; Ketola, Raimo; Kokkonen, Juha; Lehto, Sari; Luomaperä, Kaija; Vastamäki, Pertti; Siren, Heli; Anttila, Olli
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Proceedings of the International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002
Konferenssi
6th International Symposium on the Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002
Kustantaja
Trans Tech Publications
Sivut
41
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka; Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei