Stability and Residue Studies of Complexing Agents in SC-1 Bath
Julkaisuvuosi
2003
Tekijät
Saloniemi, Heini; Eränen, Simo; Ketola, Raimo A.; Kokkonen, Juha; Lehto, Sari; Luomanperä, Kaija; Vastamäki, Pertti; Sirén, Heli; Anttila, Olli
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Saloniemi Heini
Sirén Heli
Kokkonen Juha
Luomanperä Kaija
Vastamäki Pertti
Ketola Raimo A.
Lehto Sari
Eränen Simo
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
6th International Symposium on the Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces, UCPSS 2002
Kustantaja
Volyymi
92
Sivut
41-44
ISSN
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka; Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.4028/www.scientific.net/SSP.92.41
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei