ZnO for thin film BAW devices

Julkaisuvuosi

2005

Tekijät

Molarius, Jyrki; Pensala, Tuomas; Nurmela, Arto; Ylilammi, Markku; Dommann, A.

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Nurmela Arto

Molarius Jyrki

Ylilammi Markku

Pensala Tuomas

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Volyymi

2005

Sivut

1816-1819

ISSN

1051-0117

ISBN

978-0-7803-9382-0

Julkaisufoorumi

5475

Julkaisufoorumitaso

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Tieteenalat

Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Kyllä

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

DOI

10.1109/ULTSYM.2005.1603221