Spurious resonance suppression in ZnO based thin-film BAW resonators: FEM modeling and experiment

Julkaisuvuosi

2005

Tekijät

Pensala, Tuomas; Ylilammi, Markku; Makkonen, Tapani

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Ylilammi Markku

Makkonen Tapani

Pensala Tuomas

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Volyymi

2005

Sivut

1844-1847

ISSN

1051-0117

ISBN

978-0-7803-9382-0

Julkaisufoorumi

5475

Julkaisufoorumitaso

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Rinnakkaistallennettu

Muut tiedot

Tieteenalat

Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Materiaalitekniikka

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

DOI

10.1109/ULTSYM.2005.1603229