undefined

Design and characterization of the MIKES metrology atomic force microscope

Julkaisuvuosi

2009

Tekijät

Korpelainen, V.; Seppä, J.; Lassila, A.

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Lassila A. Orcid -palvelun logo

Seppä J. Orcid -palvelun logo

Korpelainen V. Orcid -palvelun logo

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Konferenssi

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Julkaisukanavan tiedot

Konferenssi

9th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2009

Kustantaja

Euspen

Sivut

239-242

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei