Smoothing of microfabricated silicon features by thermal annealing in reducing or inert atmospheres
Julkaisuvuosi
2009
Tekijät
Kolari, Kai; Vehmas, Tapani; Svensk, Olli; Törmä, Pekka; Aalto, Timo
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Konferenssi
Volyymi
2010
Numero
T141
Artikkelinumero
014017
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1088/0031-8949/2010/T141/014017
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei