Vapor-phase self-assembled monolayers for improved MEMS reliability
Julkaisuvuosi
2010
Tekijät
Rissanen, Anna; Tappura, Kirsi; Laamanen, Mari; Puurunen, Riikka; Färm, E.; Ritala, M.; Leskelä, M.
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
9th IEEE Sensors Conference SENSORS 2010
Kustantaja
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Sivut
767-770
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/ICSENS.2010.5690769
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei