Scatterometric characterization of diffractive optical elements
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Saastamoinen, Toni; Husu, Hannu; Laukkanen, Janne; Siitonen, Samuli; Turunen, Jari; Lassila, Antti
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Lassila Antti 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Emojulkaisun nimi
Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors VIII
Konferenssi
Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors VIII
Volyymi
9173
Artikkelinumero
91730I
ISSN
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1117/12.2061699
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä