Atomic layer deposition of titanium nitride layer on porous silicon supercapacitor electrodes
Julkaisuvuosi
2014
Tekijät
Grigoras, Kestutis; Keskinen, J.; Yli-Rantala, Elina; Laakso, S.; Välimäki, H.; Kauranen, P.; Ahopelto, Jouni; Prunnila, Mika
Organisaatiot ja tekijät
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Posteri
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Yleisö
Tieteellinen
Julkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
14th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2014
Konferenssi
14th International Conference on Atomic Layer Deposition, ALD 2014
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei