Bias-induced stress transitions in sputtered TiN films
Julkaisuvuosi
1986
Tekijät
Kattelus, Hannu; Tandon, Jawahar; Sala, C.; Nicolet, Marc
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Kattelus Hannu
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
4
Numero
4
Sivut
1850-1854
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Materiaalitekniikka
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1116/1.573776
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei