undefined

Binary collision lattice simulation study of model parameters in monocrystalline sputtering

Julkaisuvuosi

1989

Tekijät

Likonen, Jari; Hautala, Mikko

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Likonen Jari Orcid -palvelun logo

Hautala Mikko

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Volyymi

1

Numero

28

Sivut

4697-4722

Julkaisu­foorumi

61363

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Tieteenalat

Fysiikka

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1088/0953-8984/1/28/019

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei