Tungsten: Sputter deposition and plasma etching
Julkaisuvuosi
1991
Tekijät
Franssila, Sami
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Franssila Sami
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Volyymi
53
Sivut
358-363
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Kemia; Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/0169-4332(91)90286-S
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei