In silico design of a thermal atomic layer etch process of cobalt
Julkaisuvuosi
2021
Tekijät
Kondati Natarajan, Suresh; Nolan, Michael; Theofanis, Patrick; Mokhtarzadeh, Charles; Clendenning, Scott B.
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Kondati Natarajan Suresh
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Kustantaja
Volyymi
39
Numero
2
Artikkelinumero
022603
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Tietojenkäsittely ja informaatiotieteet; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1116/6.0000804
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä