MOCVD Al(Ga)N Insulator for Alternative Silicon-On-Insulator Structure
Julkaisuvuosi
2020
Tekijät
Ross, Glenn; Luntinen, Ville; Broas, Mikael; Suihkonen, Sami; Tuomi, Turkka; Lankinen, Aapo; Danilewsky, Andreas; Tilli, Markku; Paulasto-Kröckel, Mervi
Organisaatiot ja tekijät
Aalto-yliopisto
Lankinen Aapo
Ross Glenn 
Paulasto-Kröckel Mervi
Broas Mikael
Suihkonen Sami
Tuomi Turkka
Luntinen Ville
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Proceedings - 2020 IEEE 8th Electronics System-Integration Technology Conference, ESTC 2020
Kustantaja
Artikkelinumero
9229836
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Kone- ja valmistustekniikka; Materiaalitekniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1109/ESTC48849.2020.9229836
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä