Monolithic Ge integration on the 3 µm SOI platform for 40 GHz photodiodes
Julkaisuvuosi
2020
Tekijät
Aalto, Timo; Vehmas, Tapani; Kapulainen, Markku; Heimala, Päivi; Delrosso, Giovanni; Sun, Fei; Gao, Feng
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Sun Fei 
Gao Feng
Delrosso Giovanni
Kapulainen Markku
Heimala Päivi
Vehmas Tapani
Aalto Timo
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A4 Artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Lehti
Kustantaja
Volyymi
98
Numero
5
Sivut
303-313
ISSN
ISBN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka; Teknillinen kemia, kemian prosessitekniikka; Materiaalitekniikka
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1149/09805.0303ecst
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä