undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Silicon oxide-niobium oxide mixture films and nanolaminates grown by atomic layer deposition from niobium pentaethoxide and hexakis(ethylamino) disilane

Julkaisuvuosi

2020

Tekijät

Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Heikkilä, Mikko J.; Castan, Helena; Duenas, Salvador; Mizohata, Kenichiro; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku

Organisaatiot ja tekijät

Helsingin yliopisto

Kukli Kaupo

Mizohata Kenichiro

Kemell Marianna

Leskelä Markku

Ritala Mikko

Heikkilä Mikko J.

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Nanotechnology

Emojulkaisun nimi

Nanotechnology

Volyymi

31

Numero

19

Artikkelinumero

195713

ISSN

0957-4484

Julkaisu­foorumi

63717

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Kyllä

Muut tiedot

Tieteenalat

Kemia; Nanoteknologia

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Julkaisumaa

Yhdistynyt kuningaskunta

Kustantajan kansainvälisyys

Kansainvälinen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Kyllä

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1088/1361-6528/ab6fd6

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä