Optical and mechanical properties of nanolaminates of zirconium and hafnium oxides grown by atomic layer deposition
Julkaisuvuosi
2020
Tekijät
Jogiaas, Taivo; Kull, Mikk; Seemen, Helina; Ritslaid, Peeter; Kukli, Kaupo; Tamm, Aile
Organisaatiot ja tekijät
Helsingin yliopisto
Kukli Kaupo
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Volyymi
38
Numero
2
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Kyllä
Julkaisukanavan avoin saatavuus
Osittain avoin julkaisukanava
Kustantajan version lisenssi
CC BY
Rinnakkaistallennettu
Kyllä
Rinnakkaistallenteen lisenssi
CC BY
Muut tiedot
Tieteenalat
Kemia; Nanoteknologia
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Julkaisumaa
Yhdysvallat (USA)
Kustantajan kansainvälisyys
Kansainvälinen
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1116/1.5131563
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä