Monolayer thickness in atomic layer deposition
Julkaisuvuosi
1996
Tekijät
Ylilammi, Markku
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Ylilammi Markku
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli:
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Lehti/Sarja
Volyymi
279
Numero
1-2
Sivut
124-130
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/0040-6090(95)08159-3
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei