Capacitive microphone with low-stress polysilicon membrane and high-stress polysilicon backplate
Julkaisuvuosi
2000
Tekijät
Torkkeli, Altti; Rusanen, Outi; Saarilahti, Jaakko; Seppä, Heikki; Sipola, Hannu; Hietanen, Jarmo
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Torkkeli Altti
Sipola Hannu
Seppä Heikki
Saarilahti Jaakko
Rusanen Outi
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
85
Numero
1
Sivut
116-123
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Fysiikka; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Kyllä
DOI
10.1016/S0924-4247(00)00336-8
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei