Silicon diffusion in amorphous carbon films
Julkaisuvuosi
2001
Tekijät
Vainonen-Ahlgren, E.; Ahlgren, T.; Khriachtcev, L.; Likonen, Jari; Lehto, Sari; Keinonen, J.; Wu, C.
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Likonen Jari 
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
290-293
Sivut
216-219
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
2
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/S0022-3115(00)00564-X
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei