Design and Fabrication of Aluminum Nitride Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for Air Flow Measurements
Julkaisuvuosi
2019
Tekijät
Karuthedath, Cyril; Thanniyil Sebastian, Abhilash; Saarilahti, Jaakko; Sillanpää, Teuvo; Pensala, Tuomas
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Thanniyil Sebastian Abhilash 
Karuthedath Cyril
Saarilahti Jaakko
Sillanpää Teuvo
Pensala Tuomas
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Konferenssi
Artikkelin tyyppi
Muu artikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
Ei-vertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
B3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussaJulkaisukanavan tiedot
Emojulkaisun nimi
Konferenssi
2019 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2019
Kustantaja
IEEE Institute of Electrical and Electronic Engineers
Artikkelinumero
8925544
Sivut
2489-2492
ISBN
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Tieteenalat
Tietojenkäsittely ja informaatiotieteet; Sähkö-, automaatio- ja tietoliikennetekniikka, elektroniikka
Avainsanat
[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1109/ULTSYM.2019.8925544
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Kyllä