undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Amorphous layer formation at the TaC/Cu interface in the Si/TaC/Cu metallization system

Julkaisuvuosi

2002

Tekijät

Laurila, Tomi; Kejun, Zeng; Kivilahti, Jorma K.; Molarius, Jyrki; Suni, Ilkka

Organisaatiot ja tekijät

Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

Suni Ilkka

Molarius Jyrki

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Lehti

Artikkelin tyyppi

Alkuperäisartikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Julkaisukanavan tiedot

Lehti

Applied Physics Letters

Volyymi

80

Numero

6

Sivut

938-940

ISSN

0003-6951

Julkaisu­foorumi

51518

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1063/1.1447601

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Ei