Interfacial reactions in the Si/TaC/Cu system
Julkaisuvuosi
2004
Tekijät
Laurila, Tomi; Molarius, Jyrki; Kivilahti, J.K.
Organisaatiot ja tekijät
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Molarius Jyrki
Julkaisutyyppi
Julkaisumuoto
Artikkeli
Emojulkaisun tyyppi
Lehti
Artikkelin tyyppi
Alkuperäisartikkeli
Yleisö
TieteellinenVertaisarvioitu
VertaisarvioituOKM:n julkaisutyyppiluokitus
A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessäJulkaisukanavan tiedot
Volyymi
71
Numero
3-4
Sivut
301-309
ISSN
Julkaisufoorumi
Julkaisufoorumitaso
1
Avoin saatavuus
Avoin saatavuus kustantajan palvelussa
Ei
Rinnakkaistallennettu
Ei
Muut tiedot
Avainsanat
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Kieli
englanti
Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Ei
Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa
Ei
DOI
10.1016/j.mee.2004.02.002
Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen
Ei