undefined

< Takaisin hakutuloksiin

Wet Etching of Silicon

Julkaisuvuosi

2015

Tekijät

Gosálvez, Miguel A.; Zubel, I.; Viinikka, Eeva

Organisaatiot ja tekijät

Aalto-yliopisto

Julkaisutyyppi

Julkaisumuoto

Artikkeli

Emojulkaisun tyyppi

Kokoomateos

Artikkelin tyyppi

Muu artikkeli

Yleisö

Tieteellinen

Vertaisarvioitu

Vertaisarvioitu

OKM:n julkaisutyyppiluokitus

A3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osa

Julkaisukanavan tiedot

Emojulkaisun nimi

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition

Kustantaja

Elsevier

Sivut

470-502

ISBN

978-0-323-29965-7

Julkaisu­foorumi

5318

Julkaisufoorumitaso

2

Avoin saatavuus

Avoin saatavuus kustantajan palvelussa

Ei

Rinnakkaistallennettu

Ei

Muut tiedot

Avainsanat

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Kustantajan kansainvälisyys

Kotimainen

Kieli

englanti

Kansainvälinen yhteisjulkaisu

Ei

Yhteisjulkaisu yrityksen kanssa

Ei

DOI

10.1016/B978-0-323-29965-7.00022-1

Julkaisu kuuluu opetus- ja kulttuuriministeriön tiedonkeruuseen

Kyllä